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喜开理CKD气体用小型流量传感器

更新时间:2020-03-18

简要描述:

FSM2喜开理CKD气体用小型流量传感器,双画面双色显示气体用小型流量传感器。备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
行业:保护气体 检查 理化分析设备

FSM2喜开理CKD气体用小型流量传感器产品特点:

【大流量、小体积】
流量范围:0.5~1000?/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。


【无需直管部位】
内置新的整流机构,上游侧和下游侧均无需直管部位,可自由设置。


【双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。


【高速响应】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片,实现50m/sec的响应速度。

【洁净规格】
标配有P70(防止发尘)、P80(禁油规格)产品。
适合半导体、液晶制造领域的用途。

 

FSM2喜开理CKD气体用小型流量传感器衍生系列

型号名称流量范围(L/min)配管口径(Φ, Rc)
FSM2-A显示分离型0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/2
FSM2-N显示一体型(开关输出NPN 2点、模拟输出1点)0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/2
FSM2-P显示一体型(开关输出PNP 2点、模拟输出1点)0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/2

 

FSM2在吸附确认等情况下使用时注意事项
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时,请根据使用真空压力、吸附喷嘴直径选择流量范围。
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时,请务必在吸入侧的上游安装符合使用状况的空气过滤器,防止异物吸入。
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时,请考虑大气的露点和本产品的环境温度,在配管内不结露的条件下使用。
■ 在吸附确认等情况下使用本产品时,根据本产品与吸附喷嘴之间的配管容积,响应速度可能会变慢。此时,请采取减小配管容积等对策。
■ 在吸气等真空用途中使用时,请勿在快插接头附近进行弯曲。快插接头附近的气管承受应力时,请在将插入式卡套插入气管后,再插入快插接头中使
用。

 

如需进一步了解喜开理传感器,请点击:CKD传感器

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